टैंटलम लक्ष्य सामग्री के अनुप्रयोग क्षेत्र

मुख्य रूप से भौतिक वाष्प जमाव और अन्य प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान, वांछित पतली फिल्म सामग्री प्राप्त करने के लिए टैंटलम लक्ष्य की सतह पर परमाणुओं पर बमबारी की जाती है और सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म के रूप में जमा किया जाता है।
टैंटलम का गलनांक 2996 डिग्री तक ऊँचा होता है, जो टैंटलम लक्ष्यों को उच्च तापमान वाले स्पटरिंग वातावरण में अच्छी संरचनात्मक स्थिरता बनाए रखने में सक्षम बनाता है और आसानी से विकृत या वाष्पित नहीं होता है। घनत्व आमतौर पर 16.6 ग्राम/सेमी ³ से ऊपर होता है, जो स्पटरिंग के दौरान दरार या विरूपण की समस्याओं को कम कर सकता है, जबकि कणों के छींटे को कम कर सकता है और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार कर सकता है। स्पटरिंग तापमान पर, यह आसानी से अस्थिर नहीं होता है, स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान लक्ष्य सामग्री का न्यूनतम नुकसान सुनिश्चित करता है और पतली फिल्म जमाव के लिए स्थिर टैंटलम परमाणु प्रदान करता है।
टैंटलम के रासायनिक गुण बहुत स्थिर हैं, और यह हाइड्रोफ्लोरिक एसिड और गर्म केंद्रित सल्फ्यूरिक एसिड को छोड़कर अन्य एसिड के साथ शायद ही प्रतिक्रिया करता है। इसका उपयोग कठोर रासायनिक वातावरण में भी लंबे समय तक किया जा सकता है, और इससे बनी टैंटलम फिल्म में संक्षारण प्रतिरोध भी अच्छा होता है। टैंटलम सतह पर घनी और स्थिर टैंटलम ऑक्साइड निष्क्रियता फिल्म बनने की संभावना होती है, जो आगे ऑक्सीकरण क्षरण को प्रभावी ढंग से रोक सकती है और सामग्री की सेवा जीवन में सुधार कर सकती है।
आवेदन क्षेत्र
एकीकृत सर्किट के उत्पादन में, टैंटलम लक्ष्य सामग्री का उपयोग प्रसार अवरोधक परतों को तैयार करने, तांबे के इंटरकनेक्ट को सिलिकॉन सब्सट्रेट में फैलने से रोकने, डिवाइस की विश्वसनीयता और प्रदर्शन में सुधार करने के लिए किया जाता है, और इसे MOSFETs के लिए गेट सामग्री या धातु गेट के हिस्से के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है, साथ ही DRAM जैसे उच्च घनत्व वाले मेमोरी उपकरणों में कैपेसिटर इलेक्ट्रोड के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है।
लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (एलसीडी) और कार्बनिक प्रकाश उत्सर्जक डायोड (ओएलईडी) के उत्पादन में, टैंटलम लक्ष्य का उपयोग पतली फिल्म ट्रांजिस्टर (टीएफटी) के इलेक्ट्रोड और वायरिंग परतों को तैयार करने के लिए किया जाता है। उनकी स्थिरता और चालकता प्रदर्शन गुणवत्ता को बेहतर बनाने में मदद करती है। इसके अलावा, इन्हें डिवाइस के जीवन को बढ़ाने के लिए ओएलईडी में पतली फिल्म एनकैप्सुलेशन परतों के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है।
एंटी रिफ्लेक्टिव कोटिंग्स या फिल्टर जैसी ऑप्टिकल फिल्में तैयार करने के लिए उपयोग की जाती हैं, उच्च शुद्धता वाली टैंटलम फिल्मों में एक समान अपवर्तक सूचकांक और अच्छा स्थायित्व होता है, जो कैमरा लेंस और लेजर उपकरणों जैसे सटीक ऑप्टिकल उपकरणों के लिए उपयुक्त है। रासायनिक, पेट्रोलियम, समुद्री और अन्य वातावरणों में, टैंटलम लक्ष्य सामग्री से तैयार एंटी-संक्षारण कोटिंग्स प्रभावी ढंग से उपकरण, पाइपलाइनों और कंटेनरों को संक्षारण से बचा सकती हैं।