इस पेपर में बड़े क्षेत्र की कोटिंग पर लक्ष्य बाइंडिंग और लाइनर गुणवत्ता के प्रभाव पर चर्चा की जाएगी। कम कठोरता वाली कुछ सामग्रियां, जैसे धातु, मिश्र धातु और ऑक्साइड, जिनमें दरार पड़ने का खतरा होता है, कोटिंग प्रक्रिया के दौरान प्रभावित होंगी। तैयारी के दौरान घूमने वाला लक्ष्य अक्सर स्टेनलेस स्टील लाइनर से बंधा होता है, और क्रैकिंग होने पर लक्ष्य आमतौर पर तांबे की बैकिंग प्लेट से बंधा होता है। धातु इंडियम या अन्य धातु यौगिक सबसे अधिक इस्तेमाल किए जाने वाले बाध्यकारी घटक हैं।
यह परिवहन के दौरान लक्ष्य सामग्री के अनजाने टूटने को रोकने के अलावा लक्ष्य सामग्री की यांत्रिक शक्ति की कमी से संबंधित कुछ मुद्दों में मदद कर सकता है। बड़े आकार के लक्ष्यों के सीमित उपयोग के मुद्दे को संबोधित करने के लिए, इन तकनीकों में पीछे की प्लेट में लक्ष्यों को जोड़ना शामिल है। यह लक्ष्य सामग्री के उचित विद्युत संपर्क और शीतलन की गारंटी दे सकता है, साथ ही लक्ष्य के टूटने और असमान स्पटरिंग से भी बचा सकता है।
असमान तापीय चालकता के परिणामस्वरूप लक्ष्य सामग्री का असमान स्पटरिंग (असमान फिल्म निर्माण) होगा, साथ ही सतह नोड्यूल और डिस्चार्ज घटनाएं भी होंगी। इसके अलावा, असमान फिल्म निर्माण के परिणामस्वरूप फिल्म परत का रंग असमान हो जाएगा, जो अंतिम उत्पाद के आधार पर ढांकता हुआ परत के परिवर्तन को प्रभावित करेगा। स्पष्ट रूप से कोटिंग अस्वीकारों की संख्या में वृद्धि। नतीजतन, लक्ष्य सामग्री के बाध्यकारी गुण इसका उपयोग करने के तरीके को बहुत प्रभावित करते हैं। लक्ष्य सामग्री के थर्मल विस्तार और संकुचन और स्टेनलेस स्टील ट्यूब के थर्मल विस्तार गुणांक के बीच बातचीत के कारण, ज्यामितीय कुछ धातु या मिश्र धातु के घूमने वाले लक्ष्यों का आकार, जिनमें अच्छी तापीय चालकता होती है, लेकिन बंधन की आवश्यकता नहीं होती है, जैसे कि ZnAl, ZnSn और SiAl लक्ष्य, तापमान के साथ बढ़ते हैं।
परिवर्तन की नियमितता गुणांक और परिवर्तन एक दूसरे से भिन्न होते हैं, इसलिए संबंध बनाने के लिए कुछ कनेक्शन सामग्रियों का उपयोग किया जाना चाहिए। यदि मिश्रण खराब है, तो लक्ष्य सामग्री असमान रूप से गर्म हो जाएगी, गर्मी संचालन बाधित हो जाएगा, और टूट जाएगा और गिर जाएगा घटित होना। इन समस्याओं का असर कोटिंग की गुणवत्ता और सामान तैयार करने की क्षमता पर पड़ेगा।
सामान्य तौर पर, स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान लक्ष्य सामग्री की उच्च गर्मी उत्पादन के कारण सिरेमिक लक्ष्य सामग्री में खराब गर्मी अपव्यय होता है। यदि बॉन्डिंग का क्षेत्र बड़ा है और बॉन्डिंग खराब है, तो स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान स्थानीय गर्मी उत्पन्न करना आसान है। इंडियम, एक कम पिघलने बिंदु वाली बाध्यकारी सामग्री है, जो बनती है और पिघल जाती है, जिससे लक्ष्य सामग्री टूट जाती है या निकल भी जाती है।
लक्ष्य कोटिंग काफी हद तक लक्ष्य सामग्री की बाइंडिंग और लाइनर ट्यूब की क्षमता पर निर्भर करती है। एक प्रभावी फिल्म बनाने में सक्षम होने के लिए टीम की व्यावसायिकता के साथ-साथ सतर्कता की भी आवश्यकता होती है।
